美国拟禁售浸润式DUV,挽回窗口已过
近日美国国会推出名为MATCH的法案,拟把浸润式DUV光刻机及配套低温刻蚀设备纳入严格出口限制,连厂商派驻工程师维修和备件供应也要一并切断。法案明确点名了多家中国半导体企业作为限制对象,包括中芯、华为相关单位、长鑫、华虹和长江存储等。随后有报道称华盛顿正向海牙施压,要求荷兰配合堵截对华销售,否则可能面临美国的制裁威胁。
但在半导体业内部,对这套做法并不看好。业界普遍认为,现在才动手封堵浸润式DUV,效果有限。过去三年里,中国晶圆厂大举采购ASML的DUV系统,趁着通道还开着,把机器、备件和维保资源大量囤积到国内。根据ASML公开财报,2025年全年净销售约327亿欧元,其中DUV系统收入约120亿欧元;全年交付279台光刻机,浸润式占近半。2025年第四季度,中国大陆买家贡献了ASML系统销售的约36%。把2023—2025三年合并计算,中国从ASML购入的设备折算成人民币大约在两千亿元量级,远高于前几年的常态水平。
这批设备和备件足以支持现有产能多年运转。业内估算,按保守需求测算,这些浸润式DUV在供给充足、能自主管理维保的前提下,可以撑四到五年,甚至有观点认为到2030年前后都不会断档。更重要的是,国内本土厂商也开始试产浸润式DUV,上海一带的国产机今年已开始小批量交付,首批用户就包括中芯、长鑫和华虹。量虽小——2026年目标五台、2027年二十台,但从零到一的跨越意味着技术门槛被突破,后续扩产和良率爬坡只是时间问题。 千亿球友会
对美国和盟友而言,这让原本依赖封锁拖慢中国扩产脚步的计划遇挫。就算把后续的售后和备件切断,中国也有仓储库存与本土维护团队可以应急消化;技术资料和工程力量也在加速消化吸收。ASML自身受影响明显,其对中国市场的销量占比从2025年四季度的36%已下滑到2026年一二季度的两位数水平,股价亦承压。荷兰政府和欧洲产业界对此更是左右为难:放弃中国市场意味着数十亿欧元的收入和大量高薪岗位的流失,盟友国家的光刻机厂商如尼康、佳能也会因此承压。
回溯来看,业内普遍认为真正能限制中国高端制造能力的窗口是在2019—2022年那段时间。若当时采取更彻底的限制,效果会大得多;如今再补刀,时机已过。接下来关键观察点有两条:一是国产浸润式DUV何时能从几十台跃升至上百台量产;二是更难啃的EUV环节,包括光源、镜头与核心关键零部件,国内能否在可预见时间内拼凑完整供应链。一旦这两条路线都取得实质进展,针对设备和售后的禁令将难以奏效。
总结来说,被围堵一方只要跑得快于封锁行动,就能保住发展节奏。过去三年中国用于采购光刻机的巨额投入,正是争取这种“跑”的时间;有时间在手的一方,主动权也就更多。 千亿球友会